超聲波改性尼龍拋光機拋光的過程其實是一個由電能轉換成機械能的過程，主要由超聲波主機控器將超聲波電信號經功率放大器處理后輸出到超聲波換能器工作手柄上，超聲波換能器工作手柄再將超聲波電信號轉換成一個20KHZ以上的高能高速機械振動，最后經變手柄前端的變幅 桿傳遞到工具頭的未端，并帶動工具頭上的拋光材料懸浮液以第秒20000次以上的速度高速沖擊被拋光工件的表面，從而快速達到鏡面效果。

     超聲波改性尼龍66拋光機的拋光方式：

     1）非縫合式整布機。多用細軟棉布制成，宜拋光形狀復雜工件，或用于小型工件的精拋光。

     2）風冷布機。采用45度角線裁法，呈環形皺褶狀，中間裝有金屬圓盤，具有通風散熱的特點，宜拋光大型工件。

     3）縫合式。多用粗布、無紡布及細平布等制成，縫線可采用同心圓式螺旋式及直輻射形式，宜拋光各種鍍層及形狀較簡單的工作。

     4）毛氈機。采用純羊毛制作而成，縮絨時間長組織緊密、孔隙小，不像織物那樣受經緯的限制，耐磨性能好。

 

     超聲波改性尼龍66拋光機的拋光流程：

     1.固定：將單晶硅棒固定在加工臺上。

     2.切片：將單晶硅棒切成具有精確幾何尺寸的薄改性尼龍66切片。此過程中產生的硅粉采用水淋，產生廢水和硅渣。

     3.退火：雙工位熱氧化爐經氮氣吹掃后，用紅外加熱至300~500℃，改性尼龍66切片表面和氧氣發生反應，使改性尼龍66切片表面形成二氧化硅保護層。

     4.倒角：將退火的改性尼龍66切片進行修整成圓弧形，防止改性尼龍66切片邊緣破裂及晶格缺陷產生，增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過程中產生的硅粉采用水淋，產生廢水和硅渣。

     5.分檔檢測：為保證改性尼龍66切片的規格和質量，對其進行檢測。此處會產生廢品。

     6.拋光：用磨片劑除去切片和機磨所造的鋸痕及表面損傷層，有效改善單晶改性尼龍66切片的曲度、平坦度與平行度，達到一個拋光過程可以處理的規格。此過程產生廢磨片劑。

     7.清洗：通過有機溶劑的溶解作用，結合超聲波清洗技術去除改性尼龍66切片表面的有機雜質。此工序產生有機廢氣和廢有機溶劑。

     8.RCA清洗：通過多道清洗去除改性尼龍66切片表面的顆粒物質和金屬離子。

     9.磨片檢測：檢測經過拋光、RCA清洗后的改性尼龍66切片的質量，不符合要求的則從新進行拋光和RCA清洗。

    10.腐蝕A/B：經切片及拋光等機械加工后，晶片表面受加工應力而形成的損傷層，通常采用化學腐蝕去除。蝕A是酸性腐蝕，用混酸溶液去除損傷層，產生氟化氫、NOX和廢混酸；腐蝕B是堿性腐蝕，用氫氧化鈉溶液去除損傷層，產生廢堿液。本項目一部分改性尼龍66切片采用腐蝕A，一部分采用腐蝕B。

     11.分檔監測：對改性尼龍66切片進行損傷檢測，存在損傷的改性尼龍66切片重新進行腐蝕。

     12.粗拋光：使用一次拋光劑去除損傷層，一般去除量在10~20um。此處產生粗拋廢液。

     13.精拋光：使用精磨劑改善改性尼龍66切片表面的微粗糙程度，一般去除量1um以下，從而的到高平坦度改性尼龍66切片。產生精拋廢液。

     14.檢測：檢查改性尼龍66切片是否符合要求，如不符合則從新進行拋光或RCA清洗。

     15.檢測：查看改性尼龍66切片表面是否清潔，表面如不清潔則從新刷洗，直至清潔。

     16.包裝：將單晶硅拋光片進行包裝。